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J-GLOBAL ID：200903088269466162

X線装置の焦点-検出器装置のX線光学透過格子

Inventor： ヨアヒム バウマン ,  クリスチアン ダーフィット ,  マルチン エンゲルハルト ,  イエルク フロイデンベルガー ,  エクハルト ヘンペル ,  マルチン ホーアイゼル ,  トーマス メルテルマイヤー ,  フランツ プファイファー ,  シュテファン ポペスク ,  マンフレート シュスター
Applicant, Patent owner： シーメンス アクチエンゲゼルシヤフト
Agent (1)： 山口 巖
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2007020097
Publication number (International publication number)：2007203066
Application date： Jan. 30, 2007
Publication date： Aug. 16, 2007
Summary：

【課題】簡単な製造を可能にするX線光学透過格子を提供する。【解決手段】検査対象(7、P)の投影または断層撮影による位相コントラスト画像を作成するために、少なくとも1つのウェハの少なくとも1つの表面に周期的に配置される多数の格子突条部(S)および格子間隙(L)を有するX線装置(1)の焦点-検出器装置(F1、D1)のX線光学透過格子(Gx)において、X線光学透過格子(Gx)が、ビーム方向に直接前後に配置された少なくとも2つの部分格子(Gx1、Gx2)から構成されている。【選択図】図8

Claim (excerpt)：

検査対象(7,P)の投影または断層撮影による位相コントラスト画像を作成するために、少なくとも1つのウェハの少なくとも1つの表面に周期的に配置された多数の格子突条部(S)および格子間隙(L)を有する、X線装置(1)の焦点-検出器装置(F1,D1)のX線光学透過格子(Gx)において、X線光学透過格子(Gx)が、ビーム方向に直接前後に配置された少なくとも2つの部分格子(Gx1,x2)から構成されていることを特徴とするX線装置の焦点-検出器装置のX線光学透過格子。

IPC (1)：

A61B 6/03

FI (1)：

A61B6/03 320M

F-Term (8)：

4C093CA01 ,  4C093CA32 ,  4C093EA11 ,  4C093EA20 ,  4C093EB24 ,  4C093EB30 ,  4C093EC16 ,  4C093EC41

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

• 欧州特許出願公開第1447046号明細書