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J-GLOBAL ID：200903088289372806
電磁波センサ
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
藤本 英夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994138205
Publication number (International publication number)：1995318419
Application date： May. 28, 1994
Publication date： Dec. 08, 1995
Summary：
【要約】【目的】 極めて簡単な構造でありながらも、可視光、赤外線、紫外線、X線、γ線、ミリ波といった電磁波を容易に検出し、画像センシングを行うことができる電磁波センサを提供すること。【構成】 ダイオード特性を示す半導体基板2の一方の面に電磁波3に感応する機能物質4を設け、この機能物質4の上面に表面電極6を設け、この表面電極6に直流電圧を印加した状態で、半導体基板2の空乏層2aにプローブ用電磁波10を照射することにより、機能物質4に入射する電磁波3に相関した電気信号を、半導体基板2に設けたオーミック電極7から取り出すように構成した。
Claim (excerpt)：
ダイオード特性を示す半導体基板の一方の面に電磁波に感応する機能物質を設け、この機能物質の上面に表面電極を設け、この表面電極に直流電圧を印加した状態で、半導体基板の空乏層にプローブ用電磁波を照射することにより、機能物質に入射する電磁波に相関した電気信号を、半導体基板に設けたオーミック電極から取り出すように構成したことを特徴とする電磁波センサ。
IPC (5)：
G01J 1/02
, G01R 29/08
, G01T 1/24
, H01L 31/10
, H01L 37/02
