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J-GLOBAL ID：200903088331318221
冷却水供給装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
,
Agent (1)：
中本 菊彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991208715
Publication number (International publication number)：1993036663
Application date： Jul. 26, 1991
Publication date： Feb. 12, 1993
Summary：
【要約】【目的】被冷却体に冷却水を供給する冷却水供給装置において、冷却水の流量低下、停止による装置の事故の未然防止と冷却水の漏洩防止を図る。【構成】冷却水供給源4側の供給管路3に電磁開閉弁7を取付ける。冷却水排出部側の排出管路5にフローセンサ8を取付ける。フローセンサ8からの流量信号を受けて電磁開閉弁7及び被冷却体1に指令信号を伝達するCPU9を設ける。これにより、排出管路5中を流れる冷却水の流量が低下した場合、電磁開閉弁7を閉止すると共に、被冷却体1を停止して、冷却水の流量低下による装置の事故の未然防止、冷却水の漏洩防止が図れる。
Claim (excerpt)：
被冷却体に供給管路を介して冷却水供給源を接続すると共に、排出管路を介して冷却水排出部を接続してなる冷却水供給装置において、上記冷却水供給源側の供給管路に取付けられる流路開閉手段と、上記冷却水排出部側の排出管路に取付けられる流量検出手段と、上記流量検出手段からの流量信号を受けて少なくとも上記流路開閉手段及び被冷却体に指令信号を伝達する制御手段とを具備してなることを特徴とする冷却水供給装置。
IPC (3)：
H01L 21/304 341
, F25D 17/02 302
, G05D 23/00
