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J-GLOBAL ID：200903088340568354

透明薄膜の厚さ及び音速の同時測定法

Inventor： オリバ ライト ,  俵口 隆雄
Applicant, Patent owner： 新日本製鐵株式会社
Agent (1)： 田北 嵩晴
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991146533
Publication number (International publication number)：1993346309
Application date： May. 23, 1991
Publication date： Dec. 27, 1993
Summary：

【要約】【目的】 不透明基板上の透明薄膜の厚さ及び音速の非接触、非破壊測定方法を提供する。【構成】 超短パルスコヒ-レント光を用いて、ポンプ・プロ-ブ光学系を構成し、ポンプ・プロ-ブ光の遅延時間を変化させて不透明基板上の透明薄膜に照射し、透明薄膜内の応力パルスからと、透明薄膜と基板との境界面からと、薄膜上面からとの反射プロ-ブ光の干渉により生じる反射率の時間変化のうなり振動の周期τBを測定し、該周期τB と、既知の透明薄膜の屈折率nと、該プロ-ブ光線の透明薄膜中の入射角θと該プロ-ブ光線の波長λから、透明薄膜中の音速vを算出し、さらに応力パルスの該透明薄膜中の伝播時間τを測定し、該伝播時間τと、前記音速vより透明薄膜の厚さdを算出する。

Claim (excerpt)：

超短パルスコヒーレント光源を用いて、ポンプ・プローブ光学系を構成し、ポンプ・プローブ光の遅延時間を変化させて不透明基板上の透明薄膜に照射し、透明薄膜内の応力パルスからと、透明薄膜と基板の境界面からと、薄膜上面からとの反射ブロープ光の干渉により生じる反射率の時間変化のうなり振動の周期τB を測定し、該周期τB と、既知の透明薄膜の屈折率nと、該ブロープ光線の透明薄膜中の入射角θと、該ブロープ光線の波長λから、透明薄膜中の音速vを算出し、さらに応力パルスの該透明薄膜中の伝播時間τを測定し、該伝播時間τと、前記音速vより透明薄膜の厚さdを算出することを特徴とする、不透明基板上の透明薄膜の厚さ及び音速の同時測定法。

IPC (3)：

G01B 11/06 ,  G01N 21/47 ,  G01N 29/18