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J-GLOBAL ID：200903088341745128
共焦点走査型光学顕微鏡およびこの顕微鏡を使用した測定方法
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
鈴江 武彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995339066
Publication number (International publication number)：1996292198
Application date： Dec. 26, 1995
Publication date： Nov. 05, 1996
Summary：
【要約】【目的】 試料の測定対象面に反射率の異なる部位が存在する場合でも、この反射率の相違の影響を受けずに常に正確な測定を行なえるようにする。【構成】 試料10の表面測定に先立つ初期設定において、反射率の異なる複数の部位を有する試料10の上記各部位に対し領域設定を行なって、これらの領域ごとに最適な利得値を設定してCPU31に予め記憶しておき、二次元走査中にカウンタユニット24で走査位置を監視し上記領域の境界位置に達した時点でタイミング信号を発生してCPU31に供給し、このCPU31から利得値を出力することにより可変利得増幅回路33の利得値を変更するようにしたものである。
Claim (excerpt)：
試料に対し集束光を照射する対物光学系と、前記集束光と前記試料とを相対的に二次元方向へ移動走査する二次元走査手段と、前記対物光学系の焦点位置と前記試料の位置とを相対的に光軸方向へ移動走査する光軸走査手段と、前記集束光の前記試料による反射光を受光してその受光強度に応じた検出信号を出力する光検出手段と、この光検出手段から出力された検出信号の信号レベルを可変する可変利得形レベル可変手段とを備えた共焦点走査型光学顕微鏡において、前記試料の測定対象範囲を当該試料の反射率に応じて複数の範囲に分割してこれら分割範囲ごとに予め設定された利得情報を記憶した利得情報記憶手段と、前記二次元走査手段および前記光軸走査手段のうちの少なくとも一方による走査動作に応じて、走査中の分割範囲に対応する利得情報を前記利得情報記憶手段から読み出して、この利得情報に応じて前記可変利得形レベル可変手段の利得を可変制御するための利得制御手段とを具備したことを特徴とする共焦点走査型光学顕微鏡。
IPC (3)：
G01N 37/00
, G01B 11/30
, G02B 21/00
G01N 37/00 D
, G01B 11/30 C
, G02B 21/00
