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J-GLOBAL ID：200903088345085130

水晶振動子およびその製造方法

Inventor： 水 野 成 夫
Applicant, Patent owner： 日本電波工業株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993202631
Publication number (International publication number)：1995074569
Application date： Jul. 22, 1993
Publication date： Mar. 17, 1995
Summary：

【要約】 (修正有)【目的】 薄い水晶を補強用の水晶に直接接合して強度を高めて、著しく薄い水晶片の加工を可能とし、共振周波数の高い水晶振動子を製造する。【構成】 水晶片1の板面に水晶からなる補強板2を原子結合によって直接接合し、水晶片1と補強板2の接合面の一方に凹陥部3を形成する工程と、この凹陥部3に耐エッチング性を有する薄膜4を形成する工程と、貼り合わせた水晶片1を薄く研磨する工程と、研磨した水晶片1と補強板2の外周に上記補強板2の外側板面に開口を設けて耐エッチング性を有するマスク5を形成する工程と、このマスク5の開口から上記薄膜に達するまでエッチングして補強板2に凹所7を形成する工程と、マスク5および凹所7の底部の薄膜4を除去する工程と、水晶片1の両側板面に励振電極を形成する工程とからなる水晶振動子の製造方法。

Claim (excerpt)：

圧電振動を励振する水晶片の板面に水晶からなる補強板を分子結合によって直接接合したことを特徴とする水晶振動子

IPC (2)：

H03H 3/02 ,  H03H 9/19

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 特開昭60-145715
  
• 特開昭63-285195
  
• 特開昭60-145715
  
• 特開昭63-285195