Pat

J-GLOBAL ID：200903088350408754

半導体製造に用いられる装置の管理装置及びその管理方法

Inventor： 辻 顕寿 ,  末永 修 ,  小宮山 清
Applicant, Patent owner： 東京エレクトロン株式会社
Agent (1)： 井上 俊夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000153152
Publication number (International publication number)：2001332463
Application date： May. 24, 2000
Publication date： Nov. 30, 2001
Summary：

【要約】【課題】 半導体製造装置における熱収支を把握でき、また装置1台当りの運転コスト及びCO2発生量をも把握できる装置及び方法を提供すること。【解決手段】 半導体製造装置に用いられる電気機器の消費電力を求め、その合計量を熱量で表示手段に表示する。また半導体製造装置は、通常筐体内に機器を設置して構成されており、筐体を介して内側から外側(クリーンルーム)へ放熱される放熱量を求め、更に筐体内の熱が排気により取り出される熱量及び機器を冷却する冷却水により取り出す熱量を求め、これらの熱量の合計値を表示する。更にまた消費電力などの運転コストに関係する計測項目を計測してコストを求めると共に、消費電力に原油換算計数を掛けてCO2の発生量を求め、表示する。計測項目は熱電対や風速計や電力計測器で計測し、その計測値を変換モジュールを介してパソコンの中に取りこむ。

Claim (excerpt)：

半導体製造に用いられる装置に使用される電気機器の消費電力を計測する手段と、用力である流体を製造あるいは処理する量を計測する手段と、この手段の計測値に基づいて流体を製造あるいは処理するときに消費される電力量を求める手段と、電気機器の消費電力と流体を製造あるいは処理するときに消費される電力量とを合計して半導体製造に用いられる装置1台当たりの消費エネルギーを求める消費エネルギー演算手段と、前記半導体製造に用いられる装置に用いられる機器から放出される放熱量を求めるために必要な因子を計測する因子計測手段と、この因子計測手段による計測値に基づいて半導体製造に用いられる装置1台当たりの放熱量を求める放熱量演算手段と、この放熱量演算手段で求めた放熱量と前記消費エネルギー演算手段で求めた消費エネルギーとを表示する表示手段と、を備えたことを特徴とする半導体製造に用いられる装置の管理装置。