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J-GLOBAL ID：200903088356687590

レーザ顕微鏡

Inventor： 小沢 一雅 ,  井上 享 ,  平井 茂
Applicant, Patent owner： 住友電気工業株式会社
Agent (1)： 光石 俊郎 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992193795
Publication number (International publication number)：1993188301
Application date： Jul. 21, 1992
Publication date： Jul. 30, 1993
Summary：

【要約】【目的】 本発明は、作製費が安価で長期間安定した測定ができるレーザ顕微鏡を提供する。【構成】 レーザ光を被測定物に照射してその反射光をもとに表面形状を観察するレーザ顕微鏡であって、レーザ光Lを一方向に延びるスリット光LS とする円柱レンズ30と、この一方向に延びるスリット光Ls の被測定物Rでの反射光RLS を受光する一次元CCDイメージセンサ17とを具備してなり、安定してレーザ光をスリット状に絞り込むことができると共に製作コストも安くなる。

Claim (excerpt)：

レーザ光を被測定物に照射してその反射光をもとに表面形状を観察するレーザ顕微鏡であって、レーザ光源からのレーザ光を一方向に延びるスリット光とするレーザ光調光手段と、この一方向に延びるスリット光の被測定物での反射光を受光する一次元受光部とを具備することを特徴とするレーザ顕微鏡。