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J-GLOBAL ID：200903088357059933

ネガ型感光性樹脂組成物

Inventor： 高木 良博
Applicant, Patent owner： 富士フイルムアーチ株式会社
Agent (1)： 小栗 昌平 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000224070
Publication number (International publication number)：2002040650
Application date： Jul. 25, 2000
Publication date： Feb. 06, 2002
Summary：

【要約】【課題】アルカリ性水溶液で現像でき、高感度であり、絶縁性、平坦性、耐熱性、耐溶剤性、透明性等の諸特性に優れるとともに、低誘電特性の優れたパターン状薄膜を容易に形成することができる感光性樹脂組成物及びその処理方法を提供すること。【解決手段】 テトラフルオロエチレン、カルボキシル基を含有するモノマー及びこれらと共重合可能なモノマーを共重合させることにより得られるフッ素含有共重合体、光重合性モノマー及び光重合開始剤を含有することを特徴とするネガ型感光性樹脂組成物。上記ネガ型感光性樹脂組成物を、塗布、露光、アルカリ現像後、超高圧マイクロジェットで水洗することを特徴とするネガ型感光性樹脂組成物の処理方法。

Claim (excerpt)：

テトラフルオロエチレン、カルボキシル基を含有するモノマー及びこれらと共重合可能なモノマーを共重合させることにより得られるフッ素含有共重合体、光重合性モノマー及び光重合開始剤を含有することを特徴とするネガ型感光性樹脂組成物。

IPC (10)：

G03F 7/033 ,  C08F 2/44 ,  C08F 2/50 ,  C08F291/00 ,  G02B 5/20 101 ,  G03F 7/027 ,  G03F 7/30 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/312 ,  H05K 3/00

FI (10)：

G03F 7/033 ,  C08F 2/44 C ,  C08F 2/50 ,  C08F291/00 ,  G02B 5/20 101 ,  G03F 7/027 ,  G03F 7/30 ,  H01L 21/312 D ,  H05K 3/00 F ,  H01L 21/30 502 R

F-Term (61)：

2H025AB17 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BC14 ,  2H025CA00 ,  2H025CB06 ,  2H025CB41 ,  2H025CB43 ,  2H025FA17 ,  2H048BA02 ,  2H048BB02 ,  2H048BB37 ,  2H048BB42 ,  2H096AA27 ,  2H096BA05 ,  2H096GA08 ,  2H096GA17 ,  4J011AA05 ,  4J011CA02 ,  4J011CC10 ,  4J011PA66 ,  4J011PA69 ,  4J011PB40 ,  4J011PC02 ,  4J011QA03 ,  4J011QA12 ,  4J011QA22 ,  4J011SA01 ,  4J011SA21 ,  4J011SA31 ,  4J011SA41 ,  4J011SA76 ,  4J011SA83 ,  4J011UA01 ,  4J011VA01 ,  4J011WA01 ,  4J026AA26 ,  4J026AA45 ,  4J026AA46 ,  4J026AC06 ,  4J026AC09 ,  4J026BA27 ,  4J026BA28 ,  4J026BB01 ,  4J026BB02 ,  4J026DA03 ,  4J026DA04 ,  4J026DA11 ,  4J026DB05 ,  4J026DB06 ,  4J026DB09 ,  4J026DB36 ,  4J026FA05 ,  4J026GA07 ,  4J026GA08 ,  5F058AB07 ,  5F058AC05 ,  5F058AC06 ,  5F058AC07 ,  5F058AF04 ,  5F058AG01