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J-GLOBAL ID：200903088373510491

ポリイミド前駆体及びそれを用いた感光性樹脂組成物

Inventor： 岡田 好史
Applicant, Patent owner： 鐘淵化学工業株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001163471
Publication number (International publication number)：2002356554
Application date： May. 30, 2001
Publication date： Dec. 13, 2002
Summary：

【要約】【課題】 保存安定性に問題のあるポリアミド酸を用いず、側鎖に吸水性の水酸基・カルボキシル基を持たない最終的なイミド組成物を供することができる新規ポリイミド前駆体及びそれを用いた新規感光性樹脂組成物を提供することを目的とする。【解決手段】 ポリアミド酸部位がt-ブチルエステル化されたポリアミド単位を有するポリイミド前駆体を提供する。好ましくは該ポリイミド前駆体は、ポリイミド単位を有しており、これらの単位は同一分子内に混在していても良いし、或いはポリアミド酸部位がt-ブチルエステル化されたポリアミドと、ポリイミドを混合しても良い。本発明のポリイミド前駆体は、光酸発生剤と混合してポジ型の感光性樹脂組成物とすることができ、ポジ型のエッチングレジスト等に好適に用いられる。

Claim (excerpt)：

下記一般式(1)で表される単位と、【化1】(一般式(1)中、R1は下記群(1)より選択される4価の有機基、R2は2価の有機基を表す。R1、R2は、一般式(1)の単位間で同一または異なる。)【化2】下記一般式(2)で表される単位を有する、ポリイミド前駆体。【化3】(一般式(2)中、R3は4価の有機基、R4は2価の有機基を表す。R3、R4は、一般式(2)の単位間で同一または異なる。)

IPC (4)：

C08G 73/10 ,  G03F 7/037 501 ,  G03F 7/039 601 ,  H01L 21/027

FI (4)：

C08G 73/10 ,  G03F 7/037 501 ,  G03F 7/039 601 ,  H01L 21/30 502 R

F-Term (48)：

2H025AA02 ,  2H025AA10 ,  2H025AA11 ,  2H025AC01 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BE10 ,  2H025BG00 ,  2H025CB25 ,  2H025CB41 ,  2H025FA41 ,  4J043PA04 ,  4J043PA08 ,  4J043PA19 ,  4J043PC075 ,  4J043QB31 ,  4J043RA05 ,  4J043RA35 ,  4J043SA06 ,  4J043SA52 ,  4J043SA54 ,  4J043SA61 ,  4J043SA63 ,  4J043SA72 ,  4J043SA82 ,  4J043SB03 ,  4J043TA12 ,  4J043TA14 ,  4J043TA22 ,  4J043TA32 ,  4J043TB02 ,  4J043UA061 ,  4J043UA121 ,  4J043UA122 ,  4J043UA131 ,  4J043UA132 ,  4J043UA142 ,  4J043UB011 ,  4J043UB021 ,  4J043UB122 ,  4J043UB132 ,  4J043UB321 ,  4J043UB331 ,  4J043VA022 ,  4J043XA16 ,  4J043YA06 ,  4J043ZA23 ,  4J043ZB22