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J-GLOBAL ID：200903088382208625

表面汚染物質回収装置

Inventor： 米澤 登代美
Applicant, Patent owner： 日本電気株式会社
Agent (1)： 京本 直樹 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993031041
Publication number (International publication number)：1994241959
Application date： Feb. 22, 1993
Publication date： Sep. 02, 1994
Summary：

【要約】【目的】表面に汚染物質を含むウェーハ8より熟練度を必要とすることなく薬液11で溶解して汚染物質を表面より短時間で遊離させ、この遊離した汚染物質を含む溶解液11を確実に回収出来るようにする。【構成】一端側の開口から薬液11を入れ管内外の圧力差でこの薬液を保持する円筒管1と、この円筒管1を介して薬液に振動を与える振動発生機構2と、円筒管1とウェーハ8とを相対的に移動させる移動機構である回転テーブル3及び円筒管1の移動用の摺動棒13aとを設け、ウェーハ8の表面に薬液11を接触させ、かつ薬液を振動させながら表面を移動させて薬液の表面溶解を促進させ汚染物質の表面がらの遊離を早めている。また、この薬液11の回収は、円筒管1を薬液11を保持した状態でウェーハ8の外側に移動させて回収容器の上に位置決めし、円筒管内の圧力を上げることにより薬液11を回収容器に入れる。

Claim (excerpt)：

平板状の試供物の表面に接触する薬液溜りを一端の開口に入れ内外圧力差で該薬液溜りを保持する管部材と、この管部材に取付けられ前記薬液溜りに振動を与える振動発生手段と、前記管部材と前記試供物とを相対移動させる移動機構とを備えることを特徴とする表面汚染物質回収装置。

IPC (5)：

G01N 1/02 ,  G01N 1/28 ,  G01N 27/00 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/304 341

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開平2-028533
  
• 特開平4-348922
  
• 特開平3-239343