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J-GLOBAL ID：200903088425311123

画像情報解析システム

Inventor： 坂野 直人
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 小川 勝男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996333371
Publication number (International publication number)：1998173018
Application date： Dec. 13, 1996
Publication date： Jun. 26, 1998
Summary：

【要約】【課題】従来サンプルが手元にあり、しかもそれを分解する事によってしか行えなかった半導体製品の外観解析を、サンプルがなくても実行可能にする。【解決手段】半導体ウエハ全面をスキャンし、各層の外観情報をデジタル化して収集する解析装置と、外観情報を蓄積しデータベース化するストレージシステム、及び個々のチップ単位で製品の追跡を実行するトレースシステムより構成される。

Claim (excerpt)：

半導体チップの外観情報を製造途中に於いて各層毎に電子データとして収集・記録・蓄積し、随時情報を読み出して元の画像情報を再構成することによって非破壊で外観解析を行うことを特徴とする画像情報解析システム。

IPC (4)：

H01L 21/66 ,  G01N 21/88 ,  G06F 17/30 ,  G06T 7/00

FI (4)：

H01L 21/66 J ,  G01N 21/88 F ,  G06F 15/40 370 B ,  G06F 15/62 405 A