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J-GLOBAL ID：200903088449204433
高周波洗浄方法
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
鈴江 武彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991140268
Publication number (International publication number)：1993104071
Application date： Jun. 12, 1991
Publication date： Apr. 27, 1993
Summary：
【要約】【目的】本発明は、被洗浄物に対して高い洗浄力を有し、かつ洗浄後の純水リンス工程が不要で、さらに残存洗浄液による二次汚染を解消した高周波洗浄方法を提供しようとするものである。【構成】一端に洗浄液の吐出口を有し、かつ前記吐出口に向けてテーパ状に絞った形状をなすノズル本体17と、この本体の他端に設けられ、振動子が取着された高周波振動板と、この振動板より前記吐出口側に位置する前記本体部分に開口された洗浄液供給口と、前記振動子を駆動するための高周波発振器とを具備した高周波振動ノズル16を用いて被洗浄物27を洗浄するに際し、オゾン水溶液を前記ノズル16の供給口を通して前記本体17内に供給すると共に、前記振動板を振動させて0.7MHz以上の高周波の音波エネルギーに乗ったオゾン水溶液を前記吐出口から前記被洗浄物27に向けて噴射すること特徴としている。
Claim (excerpt)：
一端に洗浄液の吐出口を有し、かつ前記吐出口に向けてテーパ状に絞った形状をなすノズル本体と、この本体の他端に設けられ、振動子が取着された高周波振動板と、この振動板より前記吐出口側に位置する前記本体部分に開口された洗浄液供給口と、前記振動子を駆動するための高周波発振器とを具備した高周波振動ノズルを用いて被洗浄物を洗浄するに際し、オゾン水溶液を前記ノズルの供給口を通して前記本体内に供給すると共に、前記振動板を振動させて0.7MHz以上の高周波の音波エネルギーに乗ったオゾン水溶液を前記吐出口から前記被洗浄物に向けて噴射することを特徴とする高周波洗浄方法。
Patent cited by the Patent：
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