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J-GLOBAL ID：200903088453239764

加速度センサ

Inventor： 半沢 恵二 ,  松本 昌大 ,  鈴木 政善 ,  市川 範男 ,  杉沢 由紀子 ,  堀江 潤一 ,  小笠原 雄二
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所 ,  日立オートモテイブエンジニアリング株式会社
Agent (1)： 高橋 明夫 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994099878
Publication number (International publication number)：1995306222
Application date： May. 13, 1994
Publication date： Nov. 21, 1995
Summary：

【要約】【目的】静電容量式加速度センサの容量変化信号を、電磁シールドの規模と小さくしつつ、外乱による影響を少なく精度良く検出する。【構成】加速度検出素子2は、加速度に応じて変位する可動電極6、該可動電極6の両面とそれぞれ対向するよう配置された固定電極7,8を有する。検出素子2と電気的に接続される電子回路(IC)50は、容量検出部等を備える。検出素子2自身の絶縁部材10,11と層をなすように電磁シールド部20,21を設ける。基板32上に、検出素子2及びIC50の下面を覆うようにして接地導体パターン31が形成され、この導体パターン31に電磁シールド部21が導電性接着剤30を介して接着される。

Claim (excerpt)：

加速度に応じて変位する可動電極、該可動電極の両面とそれぞれ対向するよう配置された固定電極を有する静電容量式の加速度検出素子と、前記加速度検出素子と電気的に接続されて前記各固定電極・可動電極間の静電容量の差を電気信号に変換する電子回路とを備え、このうち前記加速度検出素子自身にその固定電極が形成してある絶縁部材と層をなすように電磁シールド部を設けて成ることを特徴とする加速度センサ。

IPC (2)：

G01P 15/125 ,  G12B 17/02