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J-GLOBAL ID：200903088457663633

感光性樹脂の除去方法および除去装置

Inventor： 嶋 洋之 ,  西岡 直
Applicant, Patent owner： 菱電セミコンダクタシステムエンジニアリング株式会社 ,  三菱電機株式会社
Agent (1)： 高田 守 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994340056
Publication number (International publication number)：1996186098
Application date： Dec. 27, 1994
Publication date： Jul. 16, 1996
Summary：

【要約】【目的】 Alをエッチングした後に、ホトレジストとして用いられた感光性樹脂およびその変質物の残渣を完全に除去するとともに、除去装置の耐久性を向上させる。【構成】 ふっ素化合物ガスと水蒸気とを混合した混合ガスを生成し、混合ガスをマイクロ波で励起状態にし、励起状態の混合ガスを感光性樹脂に接触させ感光性樹脂を気化する。

Claim (excerpt)：

ドライエッチングによってアルミニウムパターンなどの金属パターンを形成する際に、金属をエッチングした後に感光性樹脂を除去する感光性樹脂の除去方法において、ふっ素化合物ガスと水蒸気とを混合した混合ガスを生成する混合工程と、前記混合ガスを励起状態にする励起工程と、励起状態の前記混合ガスを前記感光性樹脂に接触させ感光性樹脂を気化する反応工程とを備えたことを特徴とする感光性樹脂の除去方法。

IPC (4)：

H01L 21/3065 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/3213 ,  H01L 21/312

FI (4)：

H01L 21/302 N ,  H01L 21/30 572 A ,  H01L 21/302 F ,  H01L 21/88 D