形状計測装置

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：富澤孝 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997282095
Publication number (International publication number)：1999118443
Application date： Oct. 15, 1997
Publication date： Apr. 30, 1999
Summary：

【要約】【課題】形状測定のための計算が容易で、外乱や被測定物の反射率の違いに影響されず、高分解能の形状計測装置を提供すること。【解決手段】本発明の形状計測装置100は、スリット状レーザ光線を発生する光源1と、これを走査し被測定物Mに照射するポリゴンミラー5を有する。さらに、1フレーム分の撮像期間内に照射される光線の積算照射強度分布を二等辺三角波状パターンとする三角波型型光線制御手段14とを有し、この光線による被測定物Mの光学像を撮像するCCDカメラ21を有する。また、撮像した画像情報から、被測定物Mの形状を算出する三角波型画像情報演算手段50を有する。積算照射強度分布が1/4波長ずつ異なる4種の光線を照射し、CCDカメラ21から出力される4フィールドの三角波型画像情報を演算処理することにより被測定物Mの形状を算出する。

Claim (excerpt)：

1フィールドまたは1フレーム分の撮像期間内に照射される光線の積算照射強度分布が、二等辺三角波状パターンとなる光線であって、該積算照射強度分布が1/4波長ずつ異なる4種の光線を被測定物に照射する三角波型光線照射手段と、上記光線により上記被測定物の表面に生じる光学像を積分型撮像部材によって撮像する撮像手段と、該撮像手段から出力される互いに上記積算照射強度分布の異なる4フィールドまたは4フレームの三角波型画像情報を演算処理することにより上記被測定物の形状を算出する三角波型画像情報演算手段と、を有する形状計測装置。

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (5)

形状計測方法及び装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-251663 Applicant：和歌山大学長
縞画像処理装置における位相接続方法及び装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-313917 Applicant：株式会社応用計測研究所
光学スケールを用いた寸法測定装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-259690 Applicant：シチズン時計株式会社

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