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J-GLOBAL ID：200903088487356247

荷電粒子ビーム走査型画像表示装置

Inventor： 一宮 豊
Applicant, Patent owner： セイコーインスツルメンツ株式会社
Agent (1)： 林 敬之助
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998275576
Publication number (International publication number)：2000106119
Application date： Sep. 29, 1998
Publication date： Apr. 11, 2000
Summary：

【要約】【課題】 荷電粒子ビーム走査型画像表示装置において、マウスクリックの機能をステージ移動に切り替えるか現在の切り替え機能を確認してからでないと、表示されている試料像をマウスクリックしてセンタリング動作させることができない。またマウスクリックの機能が測長機能になっているとマウスをクリックしてもステージ移動しない。上記不具合点を解決する。【解決手段】 表示されている試料像の上にマウスカーソル13をもってゆき、マウスをダブルクリックすると目的位置にステージ移動させる。

Claim (excerpt)：

荷電粒子源と前記荷電粒子源から引き出された荷電粒子ビームを集束するための集束レンズ系からなる荷電粒子ビーム発生部と、前記荷電粒子ビームを偏向走査するための偏向機構と、前記荷電粒子ビームが照射される試料を載置し移動可能な試料ステージと、前記荷電粒子ビームを照射することにより発生する二次荷電粒子を検出する二次荷電粒子検出器と、前記二次荷電粒子検出器の出力強度を読み込んで二次荷電粒子像を表示する表示機器を有するコンピュータと、前記コンピュータの入力手段のマウスからなる荷電粒子ビーム走査型画像表示装置において、前記マウスを操作する事により前記表示機器のうえに追随して移動するマウスポインタを前記二次荷電粒子像の上にもってゆき、マウスボタンをダブルクリックすることにより、前記マウスポインタが表示されていた前記二次荷電粒子像の位置へ前記試料ステージを移動させることを特徴とする荷電粒子ビーム走査型画像表示装置。

IPC (4)：

H01J 37/20 ,  G01D 7/00 ,  G01N 23/22 ,  H01J 37/22 502

FI (4)：

H01J 37/20 D ,  G01D 7/00 F ,  G01N 23/22 ,  H01J 37/22 502 H

F-Term (17)：

2G001AA03 ,  2G001BA07 ,  2G001CA03 ,  2G001FA11 ,  2G001GA01 ,  2G001GA06 ,  2G001HA13 ,  2G001JA02 ,  2G001JA03 ,  2G001JA13 ,  2G001JA16 ,  2G001KA03 ,  2G001PA11 ,  5C001AA01 ,  5C001AA03 ,  5C001CC04 ,  5C001CC05

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開平4-370639
  
• 特開平3-011539
  
• 走査電子顕微鏡
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-031654   Applicant：株式会社日立製作所, 日立計測エンジニアリング株式会社