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J-GLOBAL ID：200903088537146753

電界放出型透過電子顕微鏡

Inventor： 村越 久弥 ,  市橋 幹雄
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 薄田 利幸
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992145128
Publication number (International publication number)：1994215714
Application date： Jun. 05, 1992
Publication date： Aug. 05, 1994
Summary：

【要約】【目的】 高輝度な電顕像観察と微小部分析を両立できる電界放出型透過電子顕微鏡を実現する。【構成】 試料7から一番遠い位置に低収差コンデンサーレンズ4をおき、試料7とコンデンサーレンズ4の中点位置に短焦点コンデンサーレンズ5をおき、電顕像観察ではコンデンサーレンズ4とコンデンサーレンズ5を連動させてコンデンサーレンズの倍率を拡大系として動作させる。また、スポットを試料7上で小さく絞るには、コンデンサーレンズ5と試料7の間の試料に近い位置の低収差レンズコンデンサーレンズ6を駆動させて、コンデンサーレンズの倍率を縮小系で動作させる。【効果】 小さな照射角と小さなスポット径の試料照射を両立することにより、電界放出型透過電子顕微鏡の高輝度な電顕像観察と元素分析を両立できる。

Claim (excerpt)：

電界放出陰極から電子を電界放出させ所望の加速電圧まで加速する静電レンズと、コンデンサーレンズにより試料上に収束電子ビームを照射する手段とを備えた電界放出型透過電子顕微鏡において、上記コンデンサーレンズが、倍率の拡大と縮小を行う複合レンズ構成で構成されたことを特徴とする電界放出型透過電子顕微鏡。

IPC (3)：

H01J 37/141 ,  H01J 37/073 ,  H01J 37/26