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J-GLOBAL ID：200903088560873590
異物検査装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993033801
Publication number (International publication number)：1994249788
Application date： Feb. 24, 1993
Publication date： Sep. 09, 1994
Summary：
【要約】【目的】検出感度の幅が広い異物検査装置を提供すること。【構成】光ビームを供給する光源手段(10)と、光源手段からの光ビームを被検査面(R)上に照射する照射光学系(14)と、照射された光ビームにより被検査面から発する光を受けて光電変換信号を出力する光検出手段(20〜23、30〜33)とを有する異物検査装置は、被検査面上に照射される光ビームの強度を変化させる光量可変手段(11)を有する。
Claim (excerpt)：
光ビームを供給する光源手段と、該光源手段からの光ビームを被検査面上に照射する照射光学系と、前記照射された光ビームによって前記被検査面から発生する光を受けて光電変換信号を出力する光検出手段とを有する異物検査装置において、前記被検査面上に照射される前記光ビームの強度を変化させる光量可変手段を有することを特徴とする異物検査装置。
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (8)
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