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J-GLOBAL ID：200903088568580249
光透過性多層構造体の厚さ測定方法およびこれを用いた光透過性多層構造体の製造装置
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
松隈 秀盛
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995040731
Publication number (International publication number)：1996233540
Application date： Feb. 28, 1995
Publication date： Sep. 13, 1996
Summary：
【要約】【目的】 多層構造体の各構成材料層の厚さを成膜状態のままで、リアルタイム測定できるようにする。【構成】 それぞれ所定の光に対して光透過性を有し、かつこの所定の光に対して異なる光透過率係数を有する複数の構成材料層が積層された光透過性多層構造体の各構成材料層の測定方法において、各構成材料の光透過率係数の測定作業と、複数の構成材料層が積層された光透過性多層構造体全体の厚さの測定作業と、各測定作業によって測定した光透過率係数と、光透過性多層構造体全体の厚さとによって各構成材料層の厚さを演算する作業とを行う。
Claim (excerpt)：
所定の光に対してそれぞれ光透過性を有し、かつ該所定の光に対して異なる光透過率係数を有する複数の構成材料層が積層された光透過性多層構造体の各構成材料層の測定方法において、上記各構成材料の光透過率係数の測定作業と、上記複数の構成材料層が積層された光透過性多層構造体全体の厚さの測定作業と、上記各測定作業によって測定した光透過率係数と、上記光透過性多層構造体全体の厚さとによって上記各構成材料層の厚さを演算する作業とを有することを特徴とする光透過性多層構造体の厚さ測定方法。
IPC (2)：
G01B 11/06 101
, G11B 5/84
G01B 11/06 101
, G11B 5/84 C
