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J-GLOBAL ID：200903088594011635

スパッタリングターゲット及びその製作方法

Inventor： 藤原 澄丸 ,  玉井 宏 ,  小日向 紀洋
Applicant, Patent owner： 菱化マッセイ株式会社
Agent (1)： 稲垣 清
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994140838
Publication number (International publication number)：1995331427
Application date： May. 31, 1994
Publication date： Dec. 19, 1995
Summary：

【要約】【目的】 ターゲット部材とバッキング部材との接合強度が高く、仕上げ加工におけるターゲット部材の研削量の少ないスパッタリングターゲット及びその製作方法を提供する。【構成】 本スパッタリングターゲットは、相互に線膨張率の異なる、平板状の金属製ターゲット部材と平板状の金属製バッキング部材とを相互に面接合することにより製作されている。ターゲット部材とバッキング部材とのうちの線膨張率の比較的に小さい方の部材14の接合面28は凸状の曲面に、また線膨張率の比較的に大きい方の部材12の接合面26は凸状の接合面にほぼ合致する凹状の曲面にそれぞれ形成されている。次いで双方の部材を接合面同士で接合し、冷却すると、線膨張率の比較的に大きい部材は、大きく収縮して平板状になると共にその接合面が凹曲面から平面に変形し、同時に線膨張率の比較的に小さい部材は、比較的に小さく収縮して平板状になると共に、その接合面が凸曲面からほぼ平面に変形する。かかる収縮変形により、ターゲット部材はほぼ平板状になり、ターゲット面はほぼ平面になる。

Claim (excerpt)：

相互に線膨張率の異なる、平板状の金属製ターゲット部材と平板状の金属製バッキング部材とを相互に面接合してなるスパッタリングターゲットにおいて、前記ターゲット部材と前記バッキング部材とのうちの線膨張率の比較的に小さい方の部材の接合面を凸状の曲面に、かつ線膨張率の比較的に大きい方の部材の接合面を前記凸状の接合面にほぼ合致する凹状の曲面にそれぞれ形成し、次いで双方の部材を前記接合面同士で接合してなることを特徴とするスパッタリングターゲット。

IPC (2)：

C23C 14/34 ,  H01L 21/203