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J-GLOBAL ID：200903088600865897

位置検出装置

Inventor： 川久保 昌治 ,  西 健爾
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Agent (1)： 佐藤 正年 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991219380
Publication number (International publication number)：1993041343
Application date： Aug. 06, 1991
Publication date： Feb. 19, 1993
Summary：

【要約】 (修正有)【目的】 基板表面が荒れている場合にも良好な位置検出精度を達成すると共に、基板上のマーク領域を小さく(ウェハの有効面積を大きく)抑えることができる位置検出装置を得ることを目的とする。【構成】 反射型の指標板20を設け、基板照明用とは別個の指標マーク用の第2照明系を設けて独自に照明光を供給し、基板W表面並びに指標板20から戻ってくる光を撮像素子17,18の被検出面で結像させ、その合成像から得られる画像信号から位置検出を行うもの。

Claim (excerpt)：

位置検出すべき基板上に形成された第1マークを対物光学系を介して撮像素子で検出し、該撮像素子からの画像信号に基づいて前記マーク位置を検出する装置において、前記対物光学系に関して前記基板とほぼ共役な位置に配置され、所定形状の第2マークが設けられた反射型の指標板と、前記基板上の第1マークを含む局所領域を前記対物光学系を介して照明する第1照明系と、前記指標板上の第2マークを含む領域を照明する第2照明系と、該第2照明系による照明により前記指標板で反射する光を前記撮像素子に導き、前記撮像素子の被検出面上の前記第1マークの像が形成される領域以外の領域に、前記第2マークの像を結像させる結像光学系とを備え、前記撮像素子における前記第2マークと前記第1マークとの合成像に対応した画像信号に基づいて位置検出を行うことを特徴とする位置検出装置。

IPC (2)：

H01L 21/027 ,  G03F 9/00