Pat
J-GLOBAL ID:200903088619286146
収納容器
Inventor:
,
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
藤本 英介 (外2名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2001372700
Publication number (International publication number):2003170969
Application date: Dec. 06, 2001
Publication date: Jun. 17, 2003
Summary:
【要約】【課題】 汚れた流体が物品に直接接触するのを抑制し、フィルタに大量の流体が一度に流入しても塵埃が新たに生じるおそれの少ない収納容器を提供する。【解決手段】 精密基板Wを整列収納する容器本体1と、容器本体1の開口正面をガスケット11を介し嵌合閉鎖する着脱自在の蓋体10と、容器本体1の底部前方の貫通孔2に装着されるフィルタ20と、フィルタ20と最下位の精密基板Wの間に介在する制御体30とを備える。フィルタ20を通過した塵埃を含む気流は、制御体30に衝突して遮断・分散され、容器本体1の内部背面側下方に流速を低下させながら拡散する。気流の流速低下により、塵埃は、飛散が抑制され、精密基板Wに付着することなく容器本体1の内面に付着する。
Claim (excerpt):
物品を収納する容器本体の開口部を着脱自在の蓋体で嵌合閉鎖した収納容器であって、上記容器本体と上記蓋体の少なくともいずれか一方に取り付けられるフィルタと、このフィルタと該容器本体内の物品との間に介在する制御体とを含み、該フィルタを通過して該容器本体内に流入してきた流体の流れを制御体により変更し、該容器本体の下方に該流体を導くようにしたことを特徴とする収納容器。
IPC (3):
B65D 81/24
, B65D 85/86
, H01L 21/68
FI (3):
B65D 81/24 C
, H01L 21/68 T
, B65D 85/38 R
F-Term (56):
3E067AA12
, 3E067AA13
, 3E067AB40
, 3E067AB41
, 3E067AB99
, 3E067AC03
, 3E067BA02A
, 3E067BB14A
, 3E067BB30A
, 3E067BC06A
, 3E067BC07A
, 3E067CA30
, 3E067EA32
, 3E067EC36
, 3E067EE29
, 3E067EE60
, 3E067GB02
, 3E067GD10
, 3E096AA06
, 3E096BA15
, 3E096BA16
, 3E096BA17
, 3E096BA20
, 3E096BA24
, 3E096BB03
, 3E096BB04
, 3E096BB05
, 3E096CA02
, 3E096CA08
, 3E096CB03
, 3E096DA03
, 3E096DA17
, 3E096DA26
, 3E096DA30
, 3E096DB06
, 3E096DC02
, 3E096EA02X
, 3E096EA02Y
, 3E096EA10Y
, 3E096EA20Y
, 3E096FA03
, 3E096FA15
, 3E096FA40
, 3E096GA04
, 3E096GA05
, 3E096GA07
, 3E096GA20
, 5F031CA02
, 5F031CA05
, 5F031DA08
, 5F031EA02
, 5F031EA14
, 5F031EA18
, 5F031NA02
, 5F031NA04
, 5F031NA16
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (5)
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特開平4-294766
-
ウェ-ハケ-ス
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平10-073315
Applicant:三菱マテリアルシリコン株式会社
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クリーンルーム用密閉式コンテナ
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平4-084411
Applicant:神鋼電機株式会社
-
半導体基板用搬送ボックス
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平10-067625
Applicant:株式会社荏原製作所, 大日商事株式会社, ローツェ株式会社
-
密閉コンテナ並びに密閉コンテナ用雰囲気置換装置及び雰囲気置換方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平9-145922
Applicant:ソニー株式会社
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