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J-GLOBAL ID：200903088625400090

ポリマー及びフォトレジスト組成物

Inventor：
チャールズ・アール・スマンダ

About チャールズ・アール・スマンダ

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ジョージ・ジー・バークレー

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ピーター・トレフォナス,ザサード

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ワン・ユエ

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Applicant, Patent owner：
シップレーカンパニー エル エル シー

About シップレーカンパニー エル エル シー


Agent (1)： 千田 稔 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001048803
Publication number (International publication number)：2002161117
Application date： Feb. 23, 2001
Publication date： Jun. 04, 2002
Summary：
【要約】 (修正有)【課題】スピロサイクリックオレフィンポリマー、スピロサイクリックオレフィンポリマーの調製方法、スピロサイクリックオレフィン樹脂バインダーを含むフォトレジスト組成物を提供する。【解決手段】重合単位としての1以上のスピロサイクリックオレフィンモノマー及び任意に1以上のエチレン性又はアセチレン性不飽和モノマーを含むポリマーであって、そのスピロサイクリックオレフィンモノマーがオレフィン性炭素を介してポリマー骨格に結合されているポリマーであり、更に、1以上のスピロサイクリックオレフィンモノマーとパラジウム(II)重合触媒、ニケッル(II)重合触媒及びフリーラジカル重合触媒から選択される1以上の触媒を接触させる工程を含む、1以上のスピロサイクリックオレフィンモノマーを重合して、重合単位として1以上のスピロサイクリックオレフィンモノマーを含むポリマーの形成法。
Claim (excerpt)：
重合単位として1以上のスピロサイクリックオレフィンモノマー及び任意に1以上のエチレン性又はアセチレン性不飽和モノマーを含むポリマーであって、該スピロサイクリックオレフィンモノマーがオレフィン性炭素を介してポリマー骨格に結合されているポリマー。
IPC (4)：
C08F 32/08 ,  C08F 4/00 ,  G03F 7/039 601 ,  H01L 21/027
FI (4)：
C08F 32/08 ,  C08F 4/00 ,  G03F 7/039 601 ,  H01L 21/30 502 R
F-Term (32)：
2H025AA00 ,  2H025AB16 ,  2H025AC01 ,  2H025AC05 ,  2H025AC06 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BG00 ,  2H025CC03 ,  2H025FA03 ,  2H025FA12 ,  2H025FA17 ,  4J015BA02 ,  4J015BA04 ,  4J015DA23 ,  4J100AR09Q ,  4J100AR11Q ,  4J100AR11R ,  4J100AR15P ,  4J100BA03Q ,  4J100BA03R ,  4J100BA11P ,  4J100BA20R ,  4J100BC03Q ,  4J100BC55P ,  4J100BC65P ,  4J100BC66P ,  4J100BC83P ,  4J100BD11P ,  4J100CA03 ,  4J100CA05 ,  4J100JA38
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (12)
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