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J-GLOBAL ID：200903088627038577

固体撮像装置

Inventor： 奥谷 智雄
Applicant, Patent owner： 松下電子工業株式会社
Agent (1)： 前田 弘 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992277066
Publication number (International publication number)：1994132502
Application date： Oct. 15, 1992
Publication date： May. 13, 1994
Summary：

【要約】【目的】 マイクロレンズ層を有する固体撮像装置の絞りを開いた状態における感度を向上させる。【構成】 半導体基板1の表面に光電変換素子部2を設ける。光電変換素子部2の上に中間層4を介してマイクロレンズ層5を形成する。中間層4の中に、マイクロレンズ層5及び中間層4よりも高い屈折率を有する材料からなる板状の集光層6を設ける。これにより、集光可能な斜め入射光Ltの入射角範囲を拡大し、絞りを開いた状態における周辺部の感度の低下を防止する。特に、光電変換素子部2の中央部では集光層6を凸レンズ状とすることで、垂直入射光の多い中央部では垂直入射光の集光範囲を拡大し、斜め入射光の割合が大きい周辺部では斜め入射光の集光可能な入射角範囲を拡大して、大きな感度の向上効果を得る。

Claim (excerpt)：

半導体基板上に形成された光電変換素子部と、該光電変換素子部の上にフィルター等の中間層を介して設けられ、光電変換素子部に光を集めるためのマイクロレンズ層とを有する固体撮像装置において、上記中間層の中に上記マイクロレンズ層及び中間層より高い屈折率を有する材料からなる板状の集光層を備えたことを特徴とする固体撮像装置。

IPC (3)：

H01L 27/14 ,  G02B 3/00 ,  G02B 5/20 101