Pat
J-GLOBAL ID:200903088640705582
共焦点顕微鏡
Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
鈴江 武彦 (外4名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2001228490
Publication number (International publication number):2003043363
Application date: Jul. 27, 2001
Publication date: Feb. 13, 2003
Summary:
【要約】【課題】セクショニング効果を生かしつつ、簡単な構成で、様々な表面状態の試料に対しても明るさむらの無い3次元画像を、短時間で効率良く構築できる共焦点顕微鏡を提供すること。【解決手段】光源(21)からの照明光を、所定のパターンが変化動作するマスクパターン部材(22)から対物レンズ(23)を介して試料(7)に結像し、前記試料(7)からの光を再び前記対物レンズ(23)から前記マスクパターン部材(22)を介して撮像手段(25)に入射して前記試料(7)の観察像を得る共焦点顕微鏡において、前記撮像手段(25)の連続する垂直同期信号と、前記マスクパターン部材(22)の変化動作に同期して前記照明光の光量を制御する制御手段(27)を備えている。
Claim (excerpt):
光源からの照明光を、所定のパターンが変化動作するマスクパターン部材から対物レンズを介して試料に結像し、前記試料からの光を再び前記対物レンズから前記マスクパターン部材を介して撮像手段に入射して前記試料の観察像を得る共焦点顕微鏡において、前記撮像手段の連続する垂直同期信号と、前記マスクパターン部材の変化動作に同期して前記照明光の光量を制御する制御手段を備えたことを特徴とする共焦点顕微鏡。
IPC (4):
G02B 21/00
, G02B 21/06
, G02B 21/36
, G02B 26/10 107
FI (4):
G02B 21/00
, G02B 21/06
, G02B 21/36
, G02B 26/10 107
F-Term (12):
2H045AG02
, 2H045BA14
, 2H045DA31
, 2H052AA08
, 2H052AB04
, 2H052AC04
, 2H052AC15
, 2H052AC28
, 2H052AC33
, 2H052AD06
, 2H052AF14
, 2H052AF25
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