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J-GLOBAL ID：200903088645015886
微細セラミックス構造体の形成方法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
深見 久郎 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994232825
Publication number (International publication number)：1996097483
Application date： Sep. 28, 1994
Publication date： Apr. 12, 1996
Summary：
【要約】【目的】 幅が微細なパターンで、かつ、アスペクト比の高い柱状の形状を有する微細セラミックス構造体を形成する方法を提供する。【構成】 樹脂型にセラミックススラリーを充填して固化させた後、樹脂型を除去することにより微細セラミックス構造体を形成する方法であって、樹脂型を除去する際、大気中での熱分解以外の方法を用いることを特徴とする。
Claim (excerpt)：
樹脂型にセラミックススラリーを充填して固化させた後、前記樹脂型を除去することにより微細セラミックス構造体を形成する方法であって、前記樹脂型を除去する際、真空中で加熱することを特徴とする、微細セラミックス構造体の形成方法。
IPC (2)：
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