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J-GLOBAL ID：200903088650619790

レジスト用重合体の製造方法

Inventor： 兼子 功 ,  稲葉 秀之 ,  桑野 英昭 ,  脇阪 幸也
Applicant, Patent owner： 三菱レイヨン株式会社
Agent (3)： 宮崎 昭夫 ,  伊藤 克博 ,  石橋 政幸
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004139853
Publication number (International publication number)：2005320444
Application date： May. 10, 2004
Publication date： Nov. 17, 2005
Summary：

【課題】 重合体を粉体で容易に安定して回収することができ、重合体中に残存する単量体および溶剤が少ないレジスト用重合体を製造できる方法を提供することを目的とする。【解決手段】 重合することにより目的とする重合体の構成単位となる単量体を溶剤中で溶液重合して、目的とする重合体を含む溶液を得、再沈殿溶媒と前記重合体を含む溶液とを、全溶媒のSP値が30〜35[MPa1/2]になるように混合して重合体を析出させてレジスト用重合体を製造する。【選択図】 なし

Claim (excerpt)：

重合することにより目的とする重合体の構成単位となる単量体を溶剤中で溶液重合して、目的とする重合体を含む溶液を得る重合工程と、 再沈殿溶媒と前記重合体を含む溶液とを、全溶媒のSP値が30〜35[MPa1/2]になるように混合して重合体を析出させる再沈殿工程と を有するレジスト用重合体の製造方法。

IPC (2)：

C08F6/12 ,  G03F7/039

FI (2)：

C08F6/12 ,  G03F7/039 601

F-Term (16)：

2H025AB16 ,  2H025AC08 ,  2H025AD03 ,  2H025BE10 ,  2H025BG00 ,  2H025BJ10 ,  2H025CB41 ,  4J100AL08P ,  4J100AL08Q ,  4J100BC07P ,  4J100BC09P ,  4J100BC53Q ,  4J100CA03 ,  4J100FA19 ,  4J100GC16 ,  4J100JA38

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (2)

• フォトレジスト用高分子化合物及びフォトレジスト用樹脂組成物
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2001-186493   Applicant：ダイセル化学工業株式会社
• 化学増幅型レジスト用樹脂の精製方法および化学増幅型レジスト用樹脂
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2001-022227   Applicant：三菱レイヨン株式会社

Cited by examiner (3)

• アクリル系単量体の重合方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平11-279194   Applicant：ダイセル化学工業株式会社
• 連動引戸ユニット
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2001-268122   Applicant：アトムリビンテック株式会社, 磯川産業株式会社
• フォトレジスト用高分子化合物及びフォトレジスト用樹脂組成物
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2001-185580   Applicant：ダイセル化学工業株式会社