圧電アクチュエータ

Inventor： , , , , , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：高山宏志
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000110446
Publication number (International publication number)：2001298970
Application date： Apr. 12, 2000
Publication date： Oct. 26, 2001
Summary：

【要約】【課題】リニアモータや回転テーブル、X-Yテーブル等の駆動装置として好適に用いられる圧電アクチュエータを提供する。【解決手段】圧電アクチュエータ1は、ステージ(被搬送体)23を支持し、ガイドレール21を跨いで位置する第1部分および第2部分とを有する支持部材22と、第1部分および第2部分の各部において、ガイドレール21の長さ方向(X軸方向)において支持部材22を挟持するように配設される第1圧電素子2a・2bと、第1圧電素子2a・2bを挟持するように配設される第2圧電素子3a・3bとを具備する。第1圧電素子2a・2bは、ガイドレール21の長さ方向に伸縮し、第2圧電素子3a・3bは、ガイドレール21に所定の圧力で当接されるとともに、ガイドレール21との離接方向に伸縮する。圧電アクチュエータ1では、支持部材22とガイドレール21との間の相対的移動が可能となる。

Claim (excerpt)：

被搬送体を支持し、ガイドレールを跨いで位置する第1部分および第2部分とを有する支持部材と、前記第1部分および第2部分の各部において、前記ガイドレールの長さ方向において、前記支持部材を挟持するように配設される第1圧電素子と、前記第1圧電素子を挟持するように配設される第2圧電素子と、を具備し、前記第1圧電素子は、前記ガイドレールの長さ方向に伸縮し、前記第2圧電素子は、前記ガイドレールに所定の圧力で当接されるとともに、前記ガイドレールとの離接方向に伸縮し、前記支持部材と前記ガイドレールとの間の相対的移動が可能であることを特徴とする圧電アクチュエータ。

IPC (3)：

H02N 2/00 , H01L 41/083 , H01L 41/187

FI (3)：

H02N 2/00 C , H01L 41/08 N , H01L 41/18 101 D

F-Term (14)：

5H680AA12 , 5H680BB13 , 5H680BC10 , 5H680DD01 , 5H680DD23 , 5H680DD59 , 5H680DD95 , 5H680EE01 , 5H680EE10 , 5H680FF08 , 5H680GG02 , 5H680GG11 , 5H680GG20 , 5H680GG42

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

特開昭63-305766
超音波振動子及び超音波アクチュエータ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-241301 Applicant：オリンパス光学工業株式会社
特開平3-053192

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