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J-GLOBAL ID：200903088668131310

保護膜およびその製造方法ならびに物品

Inventor： 中山 正俊 ,  津吉 淳弘
Applicant, Patent owner： ティーディーケイ株式会社
Agent (1)： 石井 陽一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997345923
Publication number (International publication number)：1999158631
Application date： Dec. 01, 1997
Publication date： Jun. 15, 1999
Summary：

【要約】【課題】 物品との密着性に優れ、摩擦が低く、しかも耐久性に優れた保護膜と、この保護膜を有する物品とを提供する。【解決手段】 炭素および水素を主成分とし、表面付近がフッ化されている保護膜、およびこの保護膜が摺動部に形成された物品。前記保護膜は、炭素および水素を主成分とするDLC(ダイヤモンド状カーボン)薄膜を、F2等のフッ素含有化合物のガスを含む雰囲気中に晒す方法、または、前記DLC薄膜を、フッ素含有化合物のガスを含む雰囲気中でプラズマ処理する方法、または、前記DLC薄膜を、Ar等の無機ガス中でプラズマ処理した後、フッ素含有化合物のガスを含む雰囲気中に晒す方法、により形成される。

Claim (excerpt)：

炭素および水素を主成分とし、表面付近がフッ化されている保護膜。

IPC (3)：

C23C 16/26 ,  C23C 16/50 ,  C23C 16/56

FI (3)：

C23C 16/26 ,  C23C 16/50 ,  C23C 16/56

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (7)

• 特開昭61-238961
  
• 特開平2-250968
  
• 磁気ヘッドおよびその製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-266938   Applicant：松下電器産業株式会社
• 特開昭60-013065
  
• 特開昭61-238961
  
• 特開平2-250968
  
• 特開昭60-013065