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J-GLOBAL ID:200903088668131310

保護膜およびその製造方法ならびに物品

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 石井 陽一
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1997345923
Publication number (International publication number):1999158631
Application date: Dec. 01, 1997
Publication date: Jun. 15, 1999
Summary:
【要約】【課題】 物品との密着性に優れ、摩擦が低く、しかも耐久性に優れた保護膜と、この保護膜を有する物品とを提供する。【解決手段】 炭素および水素を主成分とし、表面付近がフッ化されている保護膜、およびこの保護膜が摺動部に形成された物品。前記保護膜は、炭素および水素を主成分とするDLC(ダイヤモンド状カーボン)薄膜を、F2等のフッ素含有化合物のガスを含む雰囲気中に晒す方法、または、前記DLC薄膜を、フッ素含有化合物のガスを含む雰囲気中でプラズマ処理する方法、または、前記DLC薄膜を、Ar等の無機ガス中でプラズマ処理した後、フッ素含有化合物のガスを含む雰囲気中に晒す方法、により形成される。
Claim (excerpt):
炭素および水素を主成分とし、表面付近がフッ化されている保護膜。
IPC (3):
C23C 16/26 ,  C23C 16/50 ,  C23C 16/56
FI (3):
C23C 16/26 ,  C23C 16/50 ,  C23C 16/56
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (7)
  • 特開昭61-238961
  • 特開平2-250968
  • 磁気ヘッドおよびその製造方法
    Gazette classification:公開公報   Application number:特願平4-266938   Applicant:松下電器産業株式会社
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