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J-GLOBAL ID:200903088715711095
ガス不純物の除去装置
Inventor:
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Applicant, Patent owner:
Agent (1):
金本 哲男 (外2名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1996079434
Publication number (International publication number):1997239224
Application date: Mar. 06, 1996
Publication date: Sep. 16, 1997
Summary:
【要約】【課題】 処理空気中のガス不純物を除去するにあたり、従来の乾式法と同等の除去効率を得つつ、圧損調整が容易でかつメンテナンスフリーとしランニングコストも低廉にする。【解決手段】 対象空気流が流れるチャンバ3内に、液滴径が10μm〜100μmの粒径の液体粒子をチャンバ13内に霧状に発生させるノズル13と、ノズル13から下流側に所定間隔離れたところに、吸水性素材からなるウェットプレート15で構成したエリミネータ構成のウェットプレート群14を配置する。
Claim (excerpt):
ガス不純物を含む対象空気流をその内部で上流から下流に流通させることが可能なチャンバと、平均直径が10μm〜100μmの粒径の液体粒子を前記チャンバ内に霧状に発生させるノズル及びこのノズルから下流側に所定間隔離れて位置した不純物除去手段とを夫々前記チャンバ内に有し、前記不純物除去手段は、吸水性素材からなるエリミネータであることを特徴とする、ガス不純物の除去装置。
IPC (2):
FI (2):
B01D 47/06 A
, B01D 45/08 Z
Patent cited by the Patent: