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J-GLOBAL ID：200903088727013814

光学素子及びその作製方法

Inventor： 成井 啓修
Applicant, Patent owner： ソニー株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996151698
Publication number (International publication number)：1997312447
Application date： May. 23, 1996
Publication date： Dec. 02, 1997
Summary：

【要約】【課題】 コンパクトな構造で、簡単に製作できる、少なくとも発光素子、受光素子及び反射鏡とを備えた光学素子を提供する。【解決手段】 本光学素子10は、半導体基板12の基板面14上に受光面を備えて、2分割された受光素子16と、受光素子の近傍でかつ受光面より上方に活性層を有する半導体レーザ構造の発光素子18とをモノシリック構造で備えている。基板面は、{100}面に対して9.7°[01-1]方向に傾斜している。発光素子の受光素子側の端面30は、受光面に対して上向きに角度45°で傾斜して延在し、レーザ光の反射面として機能する。端面の上端32は、被照射体からの戻り光Rが受光素子16の受光面に入射する経路に張り出し、受光面に入る戻り光Rの一部を遮断するナイフエッジとなる。レーザ光Lは、反射面で立ち上げられて垂直方向に出射し、光ディスク等で反射された戻り光Rはナイフエッジでナイフエッジされ、2分割された受光素子で受光し、フォーカスサーボを行う。

Claim (excerpt)：

半導体基板の基板面に受光面を備えたpn接合又はpin接合からなる受光素子と、受光素子近傍でかつ受光素子の受光面より上方に形成された活性層を有し、かつ半導体基板上に形成された半導体レーザ構造の発光素子とを備え、発光素子の受光素子側端面が、受光素子の受光面に対して上向きに傾斜して延在し、発光素子から発生するレーザ光の反射面として機能するようにしたことを特徴とする光学素子。

IPC (4)：

H01S 3/18 ,  H01L 27/14 ,  H01L 27/15 ,  H01L 21/205

FI (4)：

H01S 3/18 ,  H01L 27/15 D ,  H01L 21/205 ,  H01L 27/14 Z