Pat
J-GLOBAL ID：200903088790438698
レチクル
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
佐藤 一雄 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993242836
Publication number (International publication number)：1995098496
Application date： Sep. 29, 1993
Publication date： Apr. 11, 1995
Summary：
【要約】【目的】 基板表面の凹凸が激しい場合でも同一の層に対して同一の条件での露光を可能にし、さらに、複数の層のパターニングをも可能にするレチクルを得る。【構成】 透光性の基板の片面に、透光性部材を介して、遮光性パターンを複数層形成するか、あるいは、基板の表面に第1の遮光性パターンを形成し、その裏面に第2の遮光性パターンを形成するようにしたものである。
Claim (excerpt)：
透光性の基板上に膜状の遮光性パターンが形成されたレチクルにおいて、前記基板の片面に、透光性部材を介して、複数層の遮光性パターンを形成したことを特徴とするレチクル。
IPC (2)：
FI (2)：
H01L 21/30 502 P
, H01L 21/30 528
