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J-GLOBAL ID：200903088799762072
物品を移送するためのロードロック装置および方法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
中村 稔 (外6名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997264129
Publication number (International publication number)：1998147429
Application date： Sep. 29, 1997
Publication date： Jun. 02, 1998
Summary：
【要約】【課題】大気圧と高真空環境間で半導体ウェハの移送のための二重ステージのロードロックが提供される。【解決手段】二重ステージのロードロック10は第1と第2のロードロックチャンバ12、14を有し、それらは棚状の分割突起20によって分離される。ウェハカセット11を載せるプラットホーム22は駆動装置により上下運動する。第1チャンバ内にあるサブチャンバ30はウェハカセットを覆って、その内部を高真空にすることができる。第2チャンバ14は処理システムの移送チャンバ100と選択的に連通し、高真空に維持される。第1チャンバは、ウェハがロードロックと外側環境間で移送されるときの大気圧とウェハがロードロックの第1と第2のチャンバ間で移送されるときの高真空の間で変化する。これにより、水蒸気や汚染物質に曝されるロードロックの表面積を減少し、ロードロックの体積を減少する。
Claim (excerpt)：
実質的に大気圧にある第1の環境と真空処理システムの間で物品を移送するロードロック装置であって、実質的に大気圧および真空の間で、調節可能で、且つ第1の環境と選択的に連通する第1のチャンバと、高真空に保たれ、且つ前記第1のチャンバと選択的に連通する第2のチャンバと、前記処理システムと選択的に連通する、前記第1のチャンバと前記第2のチャンバの一方と、前記第2のチャンバ環境ら前記第1のチャンバ環境を選択的に分離するカバーを有する装置。
IPC (2)：
FI (2)：
B65G 49/00 A
, C23C 14/56 G
