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J-GLOBAL ID：200903088823962118
近接視野顕微鏡
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
秋田 収喜
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996033208
Publication number (International publication number)：1997229947
Application date： Feb. 21, 1996
Publication date： Sep. 05, 1997
Summary：
【要約】【課題】 偏光・波長解析が可能な近接視野顕微鏡を提供する。【解決手段】 被観測物体3にその波長程度で空間的に減衰するエバネッセント光4を照射するエバネッセント光照射手段と、前記被観測物体により変調されたエバネッセント光の光強度を測定する光強度測定手段(5)と、前記被観測物と光強度測定手段の相対的な位置関係が変えられる位置調整手段とを備え、前記光強度測定手段がpn接合あるいはpin接合を含む半導体を含み、かつ、前記pn接合あるいはpin接合で生ずる光電流を測定するための電極及び配線を含む近接視野顕微鏡であって、前記光強度測定手段(5)の先端に突起状(62)の物体を含み、前記光強度測定手段(5)と被観測物体3との距離がエバネッセント光4の中心波長λ以下であり、前記光強度測定手段(5)が二つ以上に分割された光検出領域(511,512)から成っている。
Claim (excerpt)：
被観測物体にその波長程度で空間的に減衰するエバネッセント光を照射するエバネッセント光照射手段と、前記被観測物体により変調されたエバネッセント光の光強度を測定する光強度測定手段と、前記被観測物体と光強度測定手段の相対的な位置関係が変えられる位置調整手段とを備え、前記光強度測定手段がpn接合あるいはpin接合を含む半導体を含み、かつ、前記pn接合あるいはpin接合で生ずる光電流を測定するための電極及び配線を含む近接視野顕微鏡であって、前記光強度測定手段の先端に突起状の物体を含み、前記光強度測定手段と被観測物体との距離がエバネッセント光の中心波長λ以下であり、前記光強度測定手段が二つ以上に分割された光検出領域から成っていることを特徴とする近接視野顕微鏡。
IPC (2)：
FI (2)：
G01N 37/00 D
, G01B 11/30 Z
