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J-GLOBAL ID：200903088857903056
走査電子顕微鏡
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
高橋 友二 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992070055
Publication number (International publication number)：1993234552
Application date： Feb. 21, 1992
Publication date： Sep. 10, 1993
Summary：
【要約】【目的】 試料の乾燥とチャージアップとを防止し、生物試料の観察に適した走査電子顕微鏡を得ることを目的とする。【構成】 走査電子顕微鏡の電子ビームの通路中に(少なくとも対物レンズと観察試料との間に)薄膜を張って上記電子ビームの通路を仕切り観察中も観察試料近傍を1気圧付近に保持する手段を備えた。
Claim (excerpt)：
走査電子顕微鏡の電子ビームの通路中に(少なくとも対物レンズと観察試料との間に)薄膜を張って上記電子ビームの通路を仕切り観察中も観察試料近傍を1気圧付近に保持する手段を備えたことを特徴とする走査電子顕微鏡。
IPC (3)：
H01J 37/18
, H01J 37/20
, H01J 37/28
