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J-GLOBAL ID：200903088858666082

希土類元素を含むアルミン酸塩の薄膜およびその作製方法ならびに蓄光性光学素子

Inventor： 宮浦 智子
Applicant, Patent owner： ミノルタ株式会社
Agent (1)： 佐野 静夫 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000344655
Publication number (International publication number)：2002146346
Application date： Nov. 13, 2000
Publication date： May. 22, 2002
Summary：

【要約】【課題】 発光強度の高い蓄光性材料およびその簡便な作製方法を提供する。【解決手段】 希土類元素を含みアルミン酸塩を主成分とする複合化合物を薄膜として、これを蓄光性材料とする。アルミン酸塩と希土類元素化合物を原料として用い、RFマグネトロンスパッタリングによって、基板上に薄膜を作製する。スパッタガスとしてはアルゴンまたは酸素もしくはオゾンを含むアルゴンを用いる。薄膜の作製後、酸素存在下で加熱して、薄膜中の酸素を増すこともできる。

Claim (excerpt)：

希土類元素を含みアルミン酸塩を主成分とする薄膜。

IPC (5)：

C09K 11/00 ,  C09K 11/08 ,  C09K 11/64 CPM ,  C23C 14/08 ,  C23C 14/34

FI (5)：

C09K 11/00 A ,  C09K 11/08 A ,  C09K 11/64 CPM ,  C23C 14/08 K ,  C23C 14/34 A

F-Term (19)：

4H001CF01 ,  4H001XA08 ,  4H001XA13 ,  4H001XA20 ,  4H001XA38 ,  4H001YA60 ,  4H001YA63 ,  4H001YA66 ,  4K029BA50 ,  4K029BC07 ,  4K029BD00 ,  4K029CA06 ,  4K029DC05 ,  4K029DC09 ,  4K029DC12 ,  4K029DC16 ,  4K029EA05 ,  4K029EA08 ,  4K029GA01