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J-GLOBAL ID：200903088865698127

基板におけるパターンの良否識別方法

Inventor： 高橋 昌也
Applicant, Patent owner： ローム株式会社
Agent (1)： 石井 暁夫 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994156918
Publication number (International publication number)：1996021802
Application date： Jul. 08, 1994
Publication date： Jan. 23, 1996
Summary：

【要約】【目的】 絶縁基板A等の基板に一定の間隔ピッチで同じ形状で多数個形成されている抵抗体パターンA2等のパターンにおける形状等の良否を、能率良く識別する。【構成】 基板の表面を、当該表面に一定の間隔ピッチで形成されている多数個のパターンのうち複数個のパターンを含む複数の領域部分に分け、この各領域部分のうち任意の一つの領域部分(X1-Y1)における撮影画像を処理して得た処理データ画面7と、前記各領域部分のうち他の一つの領域部分(X2-Y2)における撮影画像を処理して得た処理データ画面8とを比較して、その相違点を検出することを、前記全ての領域部分について行う。

Claim (excerpt)：

基板の表面を、当該表面に一定の間隔ピッチで形成されている多数個のパターンのうち複数個のパターンを含む複数の領域部分に分け、この各領域部分のうち任意の一つの領域部分における撮影画像を処理して得た処理データ画面と、前記各領域部分のうち他の一つの領域部分における撮影画像を処理して得た処理データ画面とを比較して、その相違点を検出することを、前記全ての領域部分について行うことを特徴とする基板におけるパターンの良否識別方法。

IPC (4)：

G01N 21/88 ,  G01B 11/24 ,  G01R 31/02 ,  H05K 3/00

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 特開平3-102846
  
• 特開平3-232250
  
• 特開平3-102846
  
• 特開平3-232250