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J-GLOBAL ID：200903088876876701

硬質炭素膜被覆部材の製造方法

Inventor： 鈴木 瑞明 ,  岸 松雄 ,  高橋 幸嗣 ,  恒吉 潤
Applicant, Patent owner： セイコー電子工業株式会社
Agent (1)： 林 敬之助
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993032301
Publication number (International publication number)：1994248442
Application date： Feb. 22, 1993
Publication date： Sep. 06, 1994
Summary：

【要約】【目的】 硬質炭素膜被覆部材における硬質炭素膜の硬度、密着性を向上させ、寿命が長く良好な切削性を持たせた切削工具を製造する。【構成】 反応性ガス雰囲気中で電子ビームを照射することにより、アルミニウムまたはケイ素を蒸発させ、基材表面に中間層として窒化アルミニウム層、窒化ケイ素層、または炭化ケイ素層のいずれかを形成した後、連続して硬質炭素膜を形成することにより硬質炭素膜の硬度、密着性を向上させる。

Claim (excerpt)：

基材表面に窒化アルミニウムあるいは窒化ケイ素または炭化ケイ素からなる中間層と硬質炭素層を形成した硬質炭素膜被覆部材の製造方法において、真空排気装置を備えた真空容器内に被覆基材を配置すると共に、窒素または炭化水素等の反応ガス雰囲気中において電子ビームを照射することにより前記真空容器内に載置された金属アルミニウムまたはケイ素を蒸発させ、前記被覆基材表面に窒化アルミニウム層、窒化ケイ素層、炭化ケイ素層のいずれかの中間層を形成した後、前記真空容器を排気し、前記被覆基材を真空容器から取り出すことなく、前記真空容器内に水素ガス及びメタンガスを導入し、加熱手段を介して前記被覆部材近傍を加熱することにより前記被覆部材の中間層表面に硬質炭素層を形成することを特徴とする硬質炭素膜被覆部材の製造方法。

IPC (4)：

C23C 14/30 ,  C23C 14/06 ,  C23C 16/26 ,  C23C 28/00