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J-GLOBAL ID:200903088877898784

非蒸発ゲッターを製造する方法及びこの方法で製造したゲッター

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 石田 敬 (外3名)
Gazette classification:公表公報
Application number (International application number):1998540931
Publication number (International publication number):2001506320
Application date: Mar. 26, 1998
Publication date: May. 15, 2001
Summary:
【要約】Zr及びTiから選択した少なくとも一つの第1の元素と、V、Cr、Mn及びNiの中から選択した少なくとも一つの第2の元素とを含んで成る多孔質の蒸発しないゲッター材料の製造方法を記載する。出発金属粉末は、相当酸化物を水素化カルシウムで還元することで製造し、そして得られた粉末を加圧成形して所定の範囲の温度と圧力とで焼結する。また、機械的性質とガス吸着性質との改良された組み合わせとなり、本製造方法によるゲッター本体全体に渡って化学組成が新規の分布を備えるゲッター材料を記載する。
Claim (excerpt):
水素化カルシウムで対応金属酸化物を還元することによる金属粉末の準備と、その後得られた前記金属粉末の成形とを含む非蒸発ゲッターを製造する方法であって、 Ti、Zrの群の少なくとも一つの元素と、V、Cr、Mn、Niの群の少なくとも一つの元素とを含有する金属粉末を製造するために出発材料を選択し、 1180〜1230°Cの温度で7〜15時間保持して還元を行い、 粉末を10〜500kg/cm2の圧力で成形し、且つ800〜1100°Cの温度で焼結する、ことを特徴とする非蒸発ゲッターを製造する方法。
IPC (3):
B22F 9/20 ,  B01J 20/02 ,  H05H 7/00
FI (4):
B22F 9/20 G ,  B01J 20/02 B ,  B22F 9/20 F ,  H05H 7/00
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (1)

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