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J-GLOBAL ID：200903088892905789
マルチビーム・レーザ干渉計及び積層型光学素子
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
,
Agent (1)：
石田 敬 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001135388
Publication number (International publication number)：2002328005
Application date： May. 02, 2001
Publication date： Nov. 15, 2002
Summary：
【要約】【課題】 小型で自由度の高いマルチビーム・レーザ干渉計の実現。【解決手段】 複数のレーザビームと、複数の平行透明板を積層して接着した積層板を、レーザビームの入出射面が積層面に対して斜めになるように加工し、任意の積層面の任意の部分に、偏光ビームスプリッタ面48,49、ビームスプリッタ面42又は反射面43-47、又はそれらの組み合せを形成した積層型光学素子40を有し、複数のレーザビームをそれぞれ測定ビームと参照ビームに分割し、対象物に取り付けられた測定用反射器58,60で反射されて戻った測定ビームと、参照反射器54,56で反射されて戻った参照ビームをそれぞれ合成して複数の干渉ビーム61,62を発生するレーザ干渉ユニットと、複数の干渉ビームの各干渉縞の変化を検出する検出器とを備えるマルチビーム・レーザ干渉計であって、積層型光学素子は、レーザビームの入出射面に接着された透明板50を備える。
Claim (excerpt)：
複数のレーザビームと、複数の平行透明板を積層して接着した積層板を、レーザビームの入出射面が積層面に対して斜めになるように加工し、任意の積層面の任意の部分に、偏光ビームスプリッタ面、ビームスプリッタ面又は反射面、又はそれらの組み合せを形成した積層型光学素子を有し、前記複数のレーザビームをそれぞれ測定ビームと参照ビームに分割し、対象物に取り付けられた測定用反射器で反射されて戻った前記測定ビームと、参照反射器で反射されて戻った前記参照ビームをそれぞれ合成し、複数の干渉ビームを発生するレーザ干渉ユニットと、前記複数の干渉ビームの各干渉縞の変化を検出し、前記測定ビームと前記参照ビームの光路差の変化をそれぞれ検出する検出器とを備え、複数の測定用反射器が取り付けられた部分の移動量を検出するマルチビーム・レーザ干渉計であって、前記積層型光学素子は、前記レーザビームの入出射面に接着された透明板を備えることを特徴とするマルチビーム・レーザ干渉計。
IPC (2)：
FI (2)：
F-Term (13)：
2F064AA15
, 2F064FF01
, 2F064GG13
, 2F064GG16
, 2F064GG22
, 2F064GG23
, 2F064GG38
, 2F064GG63
, 2H049BA05
, 2H049BA07
, 2H049BB03
, 2H049BB63
, 2H049BC23
