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J-GLOBAL ID：200903088956122287

ウエハ移載ロボツト

Inventor： 相馬 勝男
Applicant, Patent owner： 日本電気株式会社
Agent (1)： 内原 晋
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991266639
Publication number (International publication number)：1993109866
Application date： Oct. 16, 1991
Publication date： Apr. 30, 1993
Summary：

【要約】【構成】ウェハカセット移載ロボット50は、第1アーム7と第2アーム11と第3アーム16からなる一方のアーム部の先端に第1ウォンド17が、また第4アーム22と第5アーム26と第6アーム31からなる他方のアーム部の先端に第2ウォンド32がある。第1アーム7がα度回転すると第2アーム11は-2α度回転し、さらに第3アーム16がα度回転して第1ウォンド17が半径方向に動作する。また第1アーム7の回転が第1ウォンド17の回転方向の動作となる。第2ウォンド32の動作についても同様である。【効果】移載用のアーム部を2本とウォンドを2個設けることにより、ウェハを移載する場合に、ウェハカセットのスロット数の2分の1の往復分でハンドリングすることができ、ウェハの移載が迅速に行える。

Claim (excerpt)：

上下方向に移動可能なZ軸可動ベースと、前記Z軸可動ベースに回転保持される第1中空シャフトと、前記第1中空シャフト内で回転可能な第2中空シャフトと、前記第2中空シャフト内で回転可能な第3中空シャフトと、前記第3中空シャフト内で回転可能な第4シャフトと、前記第1中空シャフトに固定される第1プーリと、前記第2中空シャフトに固定される第1アームと、前記第1アームに回転保持される第5シャフトと、前記第5シャフトと同軸で第1タイミングベルトにより前記第1プーリと連結され前記第1プーリの半分の歯数の第2プーリと、前記第5シャフトに固定される第2アームと、前記第2アーム内で前記第5シャフトに固定され前記第2プーリと同歯数の第3プーリと、前記第5シャフトに対し前記第1中空シャフトとの軸間距離に等しく第2アーム内に回転保持される第6シャフトと、前記第6シャフトと同軸で前記第3プーリと第2タイミングベルトで連結され前記第1プーリと同歯数の第4プーリと、前記第6シャフトに固定される第3アームと、前記第3アームに固定される第1ウォンドと、前記第3中空シャフトに固定される第5プーリと、前記第4シャフトに固定される第4アームと、前記第4アームに回転保持される第7シャフトと、前記第7シャフトと同軸で第3タイミングベルトにより前記第5プーリと連結され前記第5プーリの半分の歯数の第6プーリと、前記第7シャフトに固定される第5アームと、前記第5アーム内で前記第7シャフトに固定され前記第6プーリと同歯数の第7プーリと、前記第7シャフトに対し前記第3中空シャフトとの軸間距離に等しく第5アーム内に回転保持される第8シャフトと、前記第8シャフトと同軸で前記第7プーリと第4タイミングベルトで連結され前記第5プーリと同歯数の第8プーリと、前記第8シャフトに固定される第6アームと、前記第6アームに固定される第2ウォンドと、前記第1中空シャフトの下部に固定される第1歯車と、前記第1歯車とかみ合う第2歯車と、前記Z軸可動ベースに固定され前記第2歯車を駆動する第1モータと、前記第2中空シャフトの下部に固定される第3歯車と、前記第3歯車とかみ合う第4歯車と、前記第1歯車に固定され前記第4歯車を駆動する第2モータと、前記第3中空シャフトの下部に固定される第5歯車と、前記第5歯車とかみ合う第6歯車と、前記Z軸可動ベースに固定され前記第6歯車を駆動する第3モータと、前記第4シャフトの下部に固定される第7歯車と、前記第7歯車とかみ合う第8歯車と、前記第5歯車に固定され前記第8歯車を駆動する第4モータと、前記Z軸可動ベースが摺動する固定ベースと、前記固定ベースに固定され前記Z軸可動ベースを駆動するボールねじおよび第5モータとを含んだことを特徴とするウェハ移載ロボット。

IPC (2)：

H01L 21/68 ,  B25J 9/06