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J-GLOBAL ID：200903088959497869

位置ズレ及びギャップ検出方法

Inventor： 加藤 勝弘
Applicant, Patent owner： 株式会社ソルテック
Agent (1)： 吉原 省三 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993191607
Publication number (International publication number)：1995019811
Application date： Jul. 06, 1993
Publication date： Jan. 20, 1995
Summary：

【要約】 (修正有)【目的】 X方向位置ズレとZ方向ギャップの2次元方向について夫々誤差の補正が可能な高精度の位置ズレ及びギャップ検出方法を提案する。【構成】 周波数f1f2のわずかに異なる2光束を倍にして2組4光束とし、2つの物体M,Wに対向する対物レンズの瞳面EP70上で、これらを光軸に対し平行で且つ組間で左右対称な入射配置にする光学系を用いて、第1の物体M及び第2の物体Wの各回折格子36,36に夫々所定の入射角度θ1,θ2で入射せしめ、得られた回折光の各組内における異次数同士の回折光を干渉せしめてビート信号を得、各回折格子のX方向位置ズレ及びZ方向ギャップによる光路差変動量に基づき生じるビート信号の位相和と差によりX方向及びZ方向の2次元位相変動量を算出する。

Claim (excerpt)：

周波数のわずかに異なる2光束を倍にして2組4光束とし、2つの物体に対向する対物レンズの瞳面EP上で、これらを光軸に対し平行で且つ組間で左右対称な入射配置にする光学系を用いて、これらの物体の回折格子に夫々所定の入射角度で入射せしめ、得られた回折光の各組内における異次数同士の回折光を干渉せしめてビート信号を得、各回折格子のX方向位置ズレ及びZ方向ギャップによる光路差変動量に基づき生じる該ビート信号の下式数1乃至数2に示される位相φxz及びφxz′からこれらの式の差によりX方向の2次元位相変動量φxを算出すると共に、一方の組の2光束の入射配置を反転させて2物体の各回折格子に夫々所定の入射角度で入射せしめ、得られた回折光の各組内における異次数同士の回折光を同じく干渉せしめてビート信号を得、各回折格子のX方向位置ズレ及びZ方向ギャップによる光路差変動量に基づき生じる該ビート信号の前記数2及び下式数3に示される位相φxz′及びφxz′′からこれらの式の差によりZ方向の2次元位相変動量φzを算出することを特徴とする位置ズレ及びギャップ検出方法。【数1】φxz=-φx+φz、φxz=-φx+φz【数2】φxz′=φx+φz、φxz′=φx+φz【数3】φxz′′=φx-φz、φxz′′=φx-φz

IPC (4)：

G01B 11/00 ,  G01B 11/14 ,  G01D 5/38 ,  G03F 9/00