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J-GLOBAL ID：200903088973002040

ウェーハプロービング装置

Inventor： 内藤 弘之
Applicant, Patent owner： 山形日本電気株式会社
Agent (1)： 京本 直樹 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992075031
Publication number (International publication number)：1993283489
Application date： Mar. 31, 1992
Publication date： Oct. 29, 1993
Summary：

【要約】【目的】ウェーハテスト工程において、サイズの大きなペレットの探針位置合わせを行なう際に、実体顕微鏡の倍率を高倍率にして作業できるようにすることによって探針ずれを防止する。【構成】ペレット7上の離れた2点のボンディングパッド1a,1bの像を集め実体顕微鏡の対物レンズへ導くミラー3,4,5,6を備え、前記像を拡大して同一視野内で2点のボンディングパッド1a,1bと探針2a,2bとの位置合わせを行う。

Claim (excerpt)：

実体顕微鏡下で探針とボンディングパッドとの位置合わせを行いペレットの電気特性を測定するウェーハプロービング装置において、ペレット上の離れた2点のボンディングパッド像を集め対物レンズに導くためのミラーを有し、前記の像を拡大して同一視野内で前記2点のボンディングパッドと探針との位置合わせを行うことを特徴とするウェーハプロービング装置。

IPC (3)：

H01L 21/66 ,  G01R 1/073 ,  G01R 31/26