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J-GLOBAL ID:200903088974396971
圧電式アクチュエータの形成方法および液体吐出ヘッド
Inventor:
,
,
Applicant, Patent owner:
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2001339521
Publication number (International publication number):2003142750
Application date: Nov. 05, 2001
Publication date: May. 16, 2003
Summary:
【要約】【課題】 厚さが均一で、高精細な圧電体アレイを有する圧電式アクチュエータとその形成方法を提供する。【解決手段】 基板上にレジストパターンを形成する工程と、ガスデポジション法を用いて前記レジストパターンを覆うようにして前記基板上に圧電膜を形成する工程と、前記レジストパターンを除去することで圧電膜をパターニングすることにより圧電体ストライプを所定の間隔で並べた圧電体アレイを作製する工程を備える圧電式アクチュエータの形成方法を用いる。
Claim (excerpt):
基板上にレジストパターンを形成する工程と、ガスデポジション法を用いて前記レジストパターンを覆うようにして前記基板上に圧電膜を形成する工程と、前記レジストパターンを除去することで圧電膜をパターニングすることにより、圧電体ストライプを所定の間隔で並べた圧電体アレイを作製する工程を備えることを特徴とする圧電式アクチュエータの形成方法。
IPC (9):
H01L 41/22
, B41J 2/045
, B41J 2/055
, B41J 2/16
, C23C 14/04
, C23F 1/00 102
, C23F 1/02
, H01L 41/09
, H01L 41/18
FI (9):
C23C 14/04 B
, C23F 1/00 102
, C23F 1/02
, H01L 41/22 Z
, B41J 3/04 103 A
, B41J 3/04 103 H
, H01L 41/08 U
, H01L 41/18 101 Z
, H01L 41/08 C
F-Term (29):
2C057AF37
, 2C057AF93
, 2C057AG16
, 2C057AG39
, 2C057AG44
, 2C057AG55
, 2C057AP02
, 2C057AP14
, 2C057AP31
, 2C057AP51
, 2C057AP52
, 2C057AQ06
, 2C057BA03
, 2C057BA14
, 4K029AA02
, 4K029BA13
, 4K029BA17
, 4K029BA46
, 4K029BA50
, 4K029BB03
, 4K029CA05
, 4K029GA03
, 4K029HA07
, 4K057WA11
, 4K057WB02
, 4K057WC05
, 4K057WE08
, 4K057WG08
, 4K057WN01
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