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J-GLOBAL ID：200903088979066449

透明導電膜

Inventor： ▲葛▼ 宗涛 ,  藤井 道夫 ,  羽賀 浩一
Applicant, Patent owner： 東北リコー株式会社
Agent (1)： 柏木 慎史 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999083015
Publication number (International publication number)：2000276943
Application date： Mar. 26, 1999
Publication date： Oct. 06, 2000
Summary：

【要約】【課題】 導電性及び光の透過性に優れた酸化亜鉛膜を利用した透明導電膜を提供することである。【解決手段】 酸化亜鉛薄膜のc軸:a軸の配向性の比が100:1以上、もしくは、酸化亜鉛薄膜のc軸:c軸以外の軸に配向性の比が100:1以上であり、且つ、アルミニウム、ガリウム、ホウ素などIII族及びVII族化合物のうち少なくとも1種類をドーピングした。

Claim (excerpt)：

酸化亜鉛薄膜のc軸:a軸の配向性の比が100:1以上であり、且つ、アルミニウム、ガリウム、ホウ素などIII族及びVII族化合物のうち少なくとも1種類ドーピングされたものであることを特徴とする透明導電膜。

IPC (5)：

H01B 1/08 ,  C23C 16/40 ,  G02F 1/1343 ,  H01B 5/14 ,  H01L 31/04

FI (5)：

H01B 1/08 ,  C23C 16/40 ,  G02F 1/1343 ,  H01B 5/14 A ,  H01L 31/04 M

F-Term (29)：

2H092HA03 ,  2H092HA15 ,  2H092HA22 ,  2H092KA18 ,  2H092KA20 ,  2H092MA07 ,  2H092MA27 ,  2H092NA25 ,  2H092NA28 ,  4K030AA11 ,  4K030BA21 ,  4K030BA42 ,  4K030BB01 ,  4K030JA06 ,  4K030LA04 ,  4K030LA16 ,  5F051CB12 ,  5F051FA02 ,  5F051FA08 ,  5G301CA02 ,  5G301CA12 ,  5G301CA27 ,  5G301CA30 ,  5G301CD03 ,  5G301CE01 ,  5G307FA01 ,  5G307FB01 ,  5G307FC09 ,  5G307FC10