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J-GLOBAL ID:200903088998104076
着色感光性樹脂組成物用現像液
Inventor:
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,
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
鐘尾 宏紀 (外1名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1996159638
Publication number (International publication number):1998010748
Application date: Jun. 20, 1996
Publication date: Jan. 16, 1998
Summary:
【要約】【課題】現像後の非画像部の残渣、パターンの剥がれ、膜ベリのない着色感光性樹脂組成物用現像液を提供する。【解決手段】着色感光性樹脂組成物用現像液は、ポリオキシアルキレン鎖及び芳香族基を分子中に有するノニオン系界面活性剤を含むアルカリ水溶液からなる。さらに、カラーフィルターの製造においては、アルカリ性化合物として水酸化テトラメチルアンモニウムもしくはコリンを使用することにより、液晶中への金属イオンの溶出のないカラーフィルター層を得ることができる。
Claim (excerpt):
ポリオキシアルキレン鎖及び芳香族基を分子中に有するノニオン系界面活性剤を含むアルカリ水溶液であることを特徴とする着色感光性樹脂組成物用現像液。
IPC (6):
G03F 7/32
, B01F 17/42
, B01F 17/52
, C11D 1/72
, G02B 5/20 101
, G03F 7/004 505
FI (6):
G03F 7/32
, B01F 17/42
, B01F 17/52
, C11D 1/72
, G02B 5/20 101
, G03F 7/004 505
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