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J-GLOBAL ID：200903088998430500
矩形真空アークプラズマ源
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
山本 秀策
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：1995527728
Publication number (International publication number)：1998505633
Application date： Apr. 25, 1995
Publication date： Jun. 02, 1998
Summary：
【要約】矩形プラズマダクト(34)に取り付けられた矩形平板陰極(32)の真空アーク蒸着によって、イオン化された陰極材料(30)の蒸気を含むプラズマ流を生成し、且つ基板(44)に向けて方向づけるための矩形真空アークプラズマ源およびその関連装置である。矩形ダクト(34)は、アークによって生成される陰極材料(30)の溶融した液滴をさえぎる一方で、陰極(31)から基板領域(44)にプラズマを導く。磁石(46,48,40)は、プラズマがダクト(34)を通るように誘導する磁場を同時に生成する一方で、陰極面(33)上のアーク動作を制御する。フィルターされた陰極アーク(完全にイオン化された蒸気流、はねる液滴の除去)の利点が、矩形蒸着源(直線的な動作を利用した、蒸着源からの均一な蒸発および基板に対する均一な堆積)の利点と組合せられる。矩形蒸着源は無限に長さ方向に延伸され得るため、大きいまたは長い基板に対するコーティングまたはイオン注入が可能になる。
Claim (excerpt)：
真空アーク放電のための装置であって、該装置は、(a)少なくとも部分的に蒸発される材料からなる陰極であって、実質的に矩形の形状の蒸発可能な表面を有する、陰極と、(b)該蒸発可能な表面の長さに沿った一対の両端部のそれぞれにまたは近くに操作可能に接続された、アークスポットが該両端部のいずれかに近づくと検知するための検知手段であって、該検知手段は、該アークスポットが該両端部のいずれかに近づくと信号を生成することが可能である、検知手段と、(c)該蒸発可能な表面に磁場を確立するための磁場確立手段であって、該磁場は、磁束線によって表され、該磁場確立手段は、該陰極を流れる電流から独立し、かつ、該磁束線は、該蒸発可能な表面に実質的に平行かつその長さに実質的に垂直な支配的な成分を有する、磁場確立手段と、(d)該支配的な成分の形状または該蒸発可能な表面に関するその方向性を実質的に変化させることなく、該検知手段からの該信号に呼応して該磁束線の方向を反転するための磁場反転手段と、を有する装置。
IPC (2)：
FI (2)：
C23C 14/24 F
, C23C 14/32 A
