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J-GLOBAL ID：200903088999540546
半導体材料収納用具
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
高月 亨
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993098797
Publication number (International publication number)：1994291177
Application date： Mar. 31, 1993
Publication date： Oct. 18, 1994
Summary：
【要約】【構成】 半導体材料を収納する収納用具であって、少なくとも半導体材料収納部を構成する材料として、繊維状の帯電防止物質、あるいはカーボン繊維2を含有するPP等を母材1とする材料を用いたもの。【効果】 素材自体からの汚染のおそれが防止され、きわめて清浄に、悪影響なく半導体材料を収納できる。
Claim (excerpt)：
半導体材料を収納する収納用具であって、少なくとも半導体材料収納部を構成する材料として、繊維状の帯電防止物質を含有する材料を用いたことを特徴とする半導体材料収納用具。
IPC (2)：
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