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J-GLOBAL ID:200903089004013502

焦点検出装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 鈴江 武彦
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1991200407
Publication number (International publication number):1993045573
Application date: Aug. 09, 1991
Publication date: Feb. 23, 1993
Summary:
【要約】【目的】本発明は、装置の構成を簡素化でき、対物レンズの倍率変換に影響されることなく高い検出精度と検出感度が得られる焦点検出装置を提供することを目的とする。【構成】 本発明は、測定用光源7からの測定用光束を、対物レンズ2の瞳の周辺部を通して対象物1上に集光し、対象物1からの反射光を受光手段13で受光し、この受光手段13に入射する光の位置の変位を検出して合焦判定を行う焦点検出装置において、複数の測定用光源7a,7bが設けられ、対物レンズ2の倍率に応じて、いずれか一つの測定用光源が選択される構成とした。
Claim (excerpt):
測定用光源からの測定用光束を、対物レンズの瞳の周辺部を通して対象物上に集光し、該対象物で反射し再び前記対物レンズに入射した反射光を受光手段で受光し、この受光手段に入射する光の位置の変位を検出して合焦判定を行う焦点検出装置において、前記測定用光源が複数設けられ、前記対物レンズの倍率に応じて、いずれか一つの前記測定用光源が選択されることを特徴とする焦点検出装置。
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (2)
  • 特開昭62-143010
  • 特開昭59-177507

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